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ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策

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■体裁:A4版/80頁
■発刊:2010/05/20
■ISBNコード:978-4-89808-105-1

Technology Directionシリーズ

ナノインプリント技術はナノ形状の電子・光学部品が安価に大量生産できるため、各分野で精力的な研究開発が行われている。しかし、鍵となるナノ金型の離型がうまく行かないことが産業化への大きなネックとなっており、改善が急務とされている。そこで本書では、離型問題の評価と対策を開発現場にどのように活用すればよいのかを、最新動向を交えて紹介する。

【著者】
谷口 淳
(東京理科大学基礎工学部電子応用工学科 准教授)
好野 則夫
(東京理科大学工学部第一部工業化学科 教授)
坂井 信支
(東洋合成工業 新規事業開発部ナノテクグループ)

※所属、肩書き等は本書発刊当時のものです。

【序文】
ナノインプリント技術はナノ形状の電子・光学部品が安価に大量生産できる
ため、各分野で精力的な研究開発が行われている。
しかし、鍵となるナノ金型の離型がうまく行かないことが産業化への大きな
ネックとなっており、改善が急務とされている。
そこで本書では、離型問題の評価と対策を開発現場にどのように活用すれば
よいのかを、最新動向を交えて紹介する。

【目次】

Chapter 1
ナノインプリントにおける
離型問題と評価方法
1. 各種ナノインプリント技術
2. UVナノインプリントにおける離型問題
2-1 離型不良の原因
2-2 接触角と表面エネルギー
2-3 離型問題と表面エネルギー
2-4 ナノインプリントにおける離型問題の分類
3. 離型問題の評価方法と対策
3-1 表面エネルギーの測定方法
3-2 固体の表面エネルギー
3-3 接触角による評価方法1
3-4 接触角による評価方法2
3-5 硬化後の剥離エネルギーの測定
3-6 離型剤の有無による樹脂の充填挙動の違い
3-7 中空構造モールドを用いたときに考え
られる充填挙動
3-8 中空構造モールドインプリント結果
4. まとめ

Chapter 2
フッ素系シランカップリング剤の
合成とさまざまな応用
1. シランカップリング剤の基礎
2. シランカップリング剤の開発
3. シランカップリング剤の高機能化
4. 歯科材料への応用
5. 磁性流体の開発
6. 抗菌剤への応用
7. 再生医療への応用
8. ナノインプリント応用

Chapter 3
UV樹脂と離型性について
1. UV樹脂と要求特性
2. UVナノインプリントプロセス
3. 離型膜劣化のメカニズム
3-1 離型不良
3-2 離型処理
3-3 モールドの耐久性
3-4 劣化メカニズムの考察
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