商品コード：
RLB100108
半導体用特殊ガス供給システムデザインマニュアル
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■体裁:B5版335ページ
■発刊:1999/01/28
■ISBNコード:4-89808-013-8
【執筆者】
樫原 稔
【序文】
本書は著者が今までに作成した特殊材料ガス集中供給設備工事の設計書類、論文、講習会に使用したテキストを加筆訂正して設計者、ガス取扱者はもとより特殊材料ガスに関係のある方々が座右の書としてご使用して戴ける様に、システムの在り方、問題点を計算例を交えながら説明、解説した半導体用特殊材料ガス供給システムのデザインマニュアルである。
【目次】
第1章 特殊材料ガス
1.特殊材料ガスの化学的特性
2.特殊材料ガスの物理的特性
3.特殊材料ガスの法的規制
第2章 特殊材料ガス集中供給機器
1.特殊材料ガス集中供給システム
2.シリンダキャビネットの種類
3.オートパージタイプシリンダキャビネット
4.マニュアルタイプシリンダキャビネット
5.バルブボックス
第3章 除害装置
1.定義
2.除害理論
3.乾式ベント除害装置(反応法, 化学吸着法)
4.乾式ベント除害装置(熱酸化分解法)
5.湿式ベント除害
6.乾式緊急除害装置
7.湿式緊急除害装置
8.除害システムフロー
第4章 供給システム
1.供給フロー
2.供給量
3.加熱システム
4.機器配置
第5章 配管
1.配管材
2.配管加工
3.配管組立
4.配管検査
第6章 ガス供給設備部材
1.メカニカル継手
2.ベローシールバルブ
3.ダイヤフラムバルブ
4.逆止弁
5.減圧弁
6.圧力トランスミッタ
第7章 給排気設備
1.給気
2.排気
第8章 防災設備
1.散水システム
2.給気システム
3.ニューマティック容器弁
第9章 安全監視
1.監視システム
2.構成機器
3.安全監視システムフロー
4.入出力異常警報
第10章 12""ウェーハ対応ガス供給システム
1.供給フロー
2.供給機器
3.供給配管
4.除害装置
5.安全監視
